Les mélanges de gaz spéciaux sont de plus en plus demandés.
De plus, très souvent, des concentrations variables sont requises.
Bronkhorst High-Tech a acquis une grande expérience dans la fourniture de régulateurs de débit massique pour de telles applications.
Créer des mélanges de gaz homogènes n'est pas simplement une question de mettre ensemble les flux contrôlés de deux ou plusieurs flux de gaz ; par exemple, si vous avez besoin de diluer 1 mln/min de dopant avec 10 ln/min de gaz de dilution, vous ne pouvez pas vous attendre à obtenir un mélange homogène à moins qu'une chambre de mélange appropriée soit utilisée.
Bronkhorst High-Tech a développé une série de chambres de mélange spéciales pour de tels besoins.
Veuillez contacter votre distributeur local pour discuter des options pour votre application.