Général

Les fabricants d'équipements recherchent des solutions compactes pour surveiller ou contrôler le débit ou la pression des gaz dans leur système. Jusqu'à présent, les débitmètres et régulateurs de pression massiques conventionnels nécessitaient un encombrement de 1,5", comme par exemple spécifié dans le système NeSSI™. Aujourd'hui, et en étroite collaboration avec TNO-TPD (principal institut néerlandais de physique appliquée), Bronkhorst High-Tech a développé le capteur de débit massique ^IQ+FLOW®. Grâce à l'utilisation de la technologie MEMS (micro solid state technology), Bronkhorst a pu réduire de moitié la dimension de l'empreinte à 0,75", réalisant ainsi des débitmètres et des régulateurs de pression ultra compacts.

Haute qualité intrinsèque, avec...

• Gammes de débit de 0,2...10 _mln/min jusqu'à 0,1...5 _ln/min(valeurs pleine échelle)
• Zéro très stable, grâce au capteur à puce thermiquement équilibré
• L'assemblage compact garantit l'efficacité de l'espace
• Solution économique, faible coût de possession
• Réponse rapide, jusqu'à 300 msec
• Communication analogique et numérique (RS232 ou RS485)

Conceptions spécifiques au client

Basé sur la technologie des micro-systèmes de la série ^IQ+FLOW®, Bronkhorst High-Tech offre également la possibilité de combiner des modules fonctionnels sur un collecteur compact.

Capacités de débit (basées sur l'air)