Les débitmètres massiques et régulateurs de gaz à joint métallique de Bronkhorst High-Tech se caractérisent par leur construction unique et brevetée de joint métal sur métal avec une excellente capacité de ré-étanchéité. En outre, ils se distinguent par une grande qualité de surface et sont donc particulièrement adaptés pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs et de l'énergie solaire, ainsi qu'à d'autres applications de gaz de haute pureté. Les blocs de base des débitmètres et régulateurs massiques sont équipés de raccords mâles (VCR) à étanchéité frontale de 1/4".

plage inférieure 0,1...5 _mln/min
plage supérieure 0,6.... 100 _ln/min

Débitmètre massique/contrôleur à étanchéité métallique avec interface bus de terrain

Les instruments actuels sont équipés d'une carte électronique numérique, offrant une grande précision, une excellente stabilité en température et une réponse rapide (temps de stabilisation t98 inférieur à 500 msec). Le dernier modèle ^EL-FLOW® est doté d'une fonctionnalité multi-gaz / multi-gammes, offrant aux clients (OEM) une flexibilité et une efficacité optimales. Pour la commodité du client, Bronkhorst fournit un logiciel de configuration facile à utiliser.

Capacités de débit (basées sur l'air)