Les inclinomètres MEMS portables utilisent un inclinomètre MEMS pour mesurer l'inclinaison dans un ou deux plans axiaux, perpendiculairement à la surface de la plaque de base. Selon le modèle, la sortie est un signal analogique continu ou une sortie numérique et est directement proportionnelle au sinus de l'angle d'inclinaison.

En position horizontale, la sortie DC est nulle. Les inclinomètres MEMS portables nécessitent que l'inclinomètre soit placé dans une position reproductible sur une plaque de référence fixée à la surface à surveiller. Le système d'inclinomètre portable est doté d'un capteur démontable et est conçu pour les applications où un grand nombre de points de mesure doivent être observés.

Les systèmes d'inclinomètres MEMS portables se composent d'un inclinomètre, d'un câble d'interconnexion, de plaques d'inclinaison en acier inoxydable et d'un instrument de lecture. Les plaques d'inclinaison sont boulonnées ou collées à la structure afin de localiser le capteur de manière précise et répétée.