L'optique CFI60 permet une inspection sans faille des plaquettes et des masques de 200 mm.

Associé au système optique supérieur CFI60 LU/L de Nikon et à un nouveau système d'éclairage extraordinaire, ce microscope fournit des images plus contrastées, un pouvoir de résolution élevé et des images sur fond noir trois fois plus lumineuses qu'auparavant. Utilisée indépendamment ou en combinaison avec des chargeurs de plaquettes, la série L200 permet une inspection optique exceptionnellement précise des plaquettes, des photomasques, des réticules et d'autres substrats.

L200 : Offre des capacités d'inspection de plaquettes et de masques de 200 mm pour l'identification des défauts par illumination en lumière réfléchie avec diverses méthodes d'observation telles que le fond clair, le fond noir, la polarisation simple et le DIC.

L200ND : permet d'inspecter des plaquettes et des masques de 200 mm avec un éclairage en lumière transmise ou réinfectée. Outre les méthodes d'observation du L200N, il est possible d'effectuer des observations par épifluorescence, y compris par exicitation UV de 365 nm.

L200A : Version automatisée du L200N. Les opérations fréquemment utilisées, telles que le contrôle de l'ouverture, la mise au point, la commutation fond clair/fond noir, la rotation du nez, le contrôle de l'intensité de la lampe et les réglages du DIC, sont toutes motorisées et peuvent être contrôlées par la télécommande ou un PC.

Le corps de ces microscopes est recouvert d'un revêtement à décharge électrostatique qui empêche les particules étrangères d'adhérer au microscope. De plus, le nez motorisé utilise un moteur central blindé qui piège les particules étrangères à l'intérieur, les empêchant de tomber sur l'échantillon.

L'éclairage halogène haute intensité 12V-50W (LV-LH50PC) offre une luminosité supérieure à celle d'un éclairage halogène 12V-100W avec une consommation d'énergie réduite de moitié. Cette nouvelle torche incorpore un miroir arrière et une taille de filament de lampe optimisée pour permettre un éclairage efficace et uniforme sur le plan de la pupille, ce qui est essentiel dans un plan optique.

Les objectifs CFI LU Plan de Nikon permettent d'utiliser plusieurs techniques d'observation, y compris le fond clair, le fond noir et le DIC Nomarski avec un seul objectif. Pour le DIC, il suffit d'insérer un seul prisme de Nomarski dans le nez de l'objectif, qui fonctionne pour toutes les gammes de grossissement.

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