La rapidité et la haute précision de l'inspection des surfaces en 3D sont combinées de manière unique grâce à un système de caméra à grande vitesse et au logiciel de la méthode du cycle de franges récemment développé par Nikon dans le BW-H501. Le profilage de surface est désormais possible en seulement 200 ms pour une hauteur de 40 µm.

Le BW-H501 produit et affiche des images de hauteur en temps réel à 5 images par seconde. Une platine chauffante permet d'observer et d'analyser le processus de déformation des échantillons de films et de gels en temps réel. Enfin, grâce à une mesure de haute précision de 10 nm par interférométrie en lumière blanche, il est désormais possible d'analyser et d'évaluer la rugosité de la surface des objets.

L'observation et l'analyse des surfaces optiquement diffuses, une faiblesse des systèmes optiques conventionnels, ne présentent aucune difficulté. Le profileur peut être utilisé pour évaluer la surface de films revêtus de céramique et de plaques de diffusion.

Avec la méthode du cycle des franges, la valeur des coordonnées sur l'axe Z avec la mesure de focalisation locale maximale est considérée comme la hauteur de chaque pixel. La génération d'une frange d'interférence sur la surface de l'objet à l'aide d'un objectif d'interférence à deux faisceaux génère une mesure de focalisation très élevée, permettant d'obtenir une résolution en hauteur effective de 100 nm et une précision répétable de σ = 10 nm, ce qui permet de capturer des images en hauteur avec une grande précision.

L'imageur X-Cycle du BWH-501 associe un actionneur piézoélectrique à une caméra à grande vitesse pour une capture d'images à grande vitesse unique en son genre. La capture d'images à 900 fps est possible avec une sortie et un affichage d'images de hauteur en temps réel à 5 fps. Les images de hauteur capturées subissent une addition cumulative avec des composantes de bruit aléatoire supprimées. Les images de profondeur de champ étendue (EDF) en temps réel peuvent être produites ou affichées sous forme d'image figée. Les images de hauteur en temps réel peuvent également être produites ou affichées avec des pseudo-couleurs.

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