Fournit toutes les mesures dimensionnelles requises pour la fabrication des supports de plaquettes, y compris le contrôle de la déformation due au vieillissement des supports de plaquettes.

Le NEXIV VMR-C4540 - conçu pour être utilisé avec les supports de plaquettes de 300 mm Front Opening Unified Pod (FOUP) et Front Opening Shipping Box (FOSB) - détecte les bords difficiles à voir en utilisant une variété de caractéristiques d'éclairage ainsi que les technologies uniques de traitement d'image de Nikon. Grâce à la mise au point automatique par laser qui permet une mise au point rapide et sans contact, même sur des surfaces transparentes et sur les bords de la périphérie de la plaquette, le VMR-C4540 est capable de mesurer des dimensions conformes aux normes SEMI avec une excellente précision.