Le chargeur de plaquettes le plus récent et le plus sophistiqué de Nikon pour les microscopes d'inspection IC.

La série NWL200 est la première gamme de chargeurs de plaquettes pour microscopes d'inspection capables de charger des plaquettes de 100 microns d'épaisseur. Grâce à un nouveau système de mandrin, la série NWL200 permet un chargement très fiable, adapté à l'inspection des semi-conducteurs de la prochaine génération. Les fonctions améliorées de détection des wafers permettent également d'éviter d'endommager les wafers, tandis que la détection de l'écaillage des bords des wafers permet de détecter automatiquement les défauts d'écaillage des bords.

La détection des arêtes, qui était difficile avec les chargeurs de plaquettes conventionnels pour les microscopes, peut désormais être effectuée automatiquement. Cela permet des inspections macro de toutes les zones, en plus de la prise en charge de l'inspection de la face du modèle, du centre de la face arrière et de la périphérie de la face arrière qui était déjà disponible avec les modèles précédents. Grâce à la détection automatique de haute précision, les défauts de bord qui provoquent des fissures dans la plaquette peuvent être éliminés rapidement.

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