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Système de microscope interférométrique à lumière blanche

Profileur de sous-nano-surface précis avec mesure sans contact La technologie propriétaire de Nikon de mesure des interférences optiques par balayage permet d’obtenir une résolution en hauteur de 1 picomètre (pm). Nikon propose une variété de microscopes optiques comme systèmes de mesure pour répondre à une large gamme d’applications de mesure. Principaux avantages Une performance de […]

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Profileur de sous-nano-surface précis avec mesure sans contact

La technologie propriétaire de Nikon de mesure des interférences optiques par balayage permet d'obtenir une résolution en hauteur de 1 picomètre (pm). Nikon propose une variété de microscopes optiques comme systèmes de mesure pour répondre à une large gamme d'applications de mesure.

Principaux avantages

Une performance de mesure supérieure


  • Réalise des mesures à un niveau de 0,1 nm sur des surfaces ultra-lisses, sans moyenne ni processus de filtrage.
  • Permet d'effectuer des mesures avec la même résolution en hauteur dans une large gamme de grossissements.
  • Permet de mesurer des surfaces lisses et rugueuses sans changer de mode de mesure ou de filtre optique.
  • Capture à la fois une image entièrement focalisée et une image de la hauteur de la surface.

Large éventail de méthodes d'observation


Document sans titre
Modèle à haute résolution de pixels
BW-S501 BW-S502 BW-S503 BW-S505 BW-S506 BW-S507
Système optique de mesure Variation de la focalisation par interférométrie en lumière blanche (FVWLI)
Résolution en hauteur (algorithme) 1pm (0,001 nm)
Reproductibilité de la mesure de la hauteur de marche σ : mesure de la hauteur de marche de 8nm / 8μm
Nombre de pixels 2046 x 2046, 1022 x 1022 (sélectionnable par logiciel)
Durée de la mesure de la hauteur 38 s, 16 s / 10 μm scan
Plage de mesure de la hauteur < 90 μm < 20 mm < 90 μm <20 mm
Taille du champ de mesure (avec 2,5X) < 4448 x 4448 μm*
Actionneur piézoélectrique Entraînement de la lentille d'objectif Entraînement de l'embouchure
Axe Z Manuel d'utilisation Électrique Manuel Électrique
Axe XY Manuel Électrique Manuel Électrique
Logiciels Modules du logiciel Bridgelements

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