Profileur de sous-nano-surface précis avec mesure sans contact La technologie propriétaire de Nikon de mesure des interférences optiques par balayage permet d’obtenir une résolution en hauteur de 1 picomètre (pm). Nikon propose une variété de microscopes optiques comme systèmes de mesure pour répondre à une large gamme d’applications de mesure. Principaux avantages Une performance de […]
Large éventail de méthodes d'observation
Modèle à grande vitesse | ||||||
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BW-D501 | BW-D502 | BW-D503 | BW-D505 | BW-D506 | BW-D507 | |
Système optique de mesure | Variation de la focalisation par interférométrie en lumière blanche (FVWLI) | |||||
Résolution en hauteur (algorithme) | 1 pm (0,001 nm) | |||||
Reproductibilité de la mesure de la hauteur de marche | σ : mesure de la hauteur de marche de 8nm / 8μm | |||||
Nombre de pixels | 510x510 | |||||
Temps de mesure de la hauteur | 4 s / 10 μm scan | |||||
Plage de mesure de la hauteur | < 90 μm | < 20 mm | < 90 μm | <20 mm | ||
Taille du champ de mesure | < 2015 x 2015 μm * | |||||
Actionneur piézoélectrique | Entraînement de la lentille d'objectif | Entraînement de l'embouchure | ||||
Axe Z | Manuel d'utilisation | Électrique | Manuel | électrique | ||
Axe XY | Manuel | Électrique | Manuel | Électrique | ||
Logiciels | Modules du logiciel Bridgelements |
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