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Système de microscope interférométrique à lumière blanche

Profileur de sous-nano-surface précis avec mesure sans contact La technologie propriétaire de Nikon de mesure des interférences optiques par balayage permet d’obtenir une résolution en hauteur de 1 picomètre (pm). Nikon propose une variété de microscopes optiques comme systèmes de mesure pour répondre à une large gamme d’applications de mesure. Principaux avantages Une performance de […]

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Profileur de sous-nano-surface précis avec mesure sans contact

La technologie propriétaire de Nikon de mesure des interférences optiques par balayage permet d'obtenir une résolution en hauteur de 1 picomètre (pm). Nikon propose une variété de microscopes optiques comme systèmes de mesure pour répondre à une large gamme d'applications de mesure.

Principaux avantages

Une performance de mesure supérieure


  • Réalise des mesures à un niveau de 0,1 nm sur des surfaces ultra-lisses, sans moyenne ni processus de filtrage.
  • Permet d'effectuer des mesures avec la même résolution en hauteur dans une large gamme de grossissements.
  • Permet de mesurer des surfaces lisses et rugueuses sans changer de mode de mesure ou de filtre optique.
  • Capture à la fois une image entièrement focalisée et une image de la hauteur de la surface.

Large éventail de méthodes d'observation

  • Le système peut être utilisé comme microscope optique. Les observations en fond clair, en polarisation, en DIC et en fluorescence sont toutes possibles.
Modèle à grande vitesse
BW-D501 BW-D502 BW-D503 BW-D505 BW-D506 BW-D507
Système optique de mesure Variation de la focalisation par interférométrie en lumière blanche (FVWLI)
Résolution en hauteur (algorithme) 1 pm (0,001 nm)
Reproductibilité de la mesure de la hauteur de marche σ : mesure de la hauteur de marche de 8nm / 8μm
Nombre de pixels 510x510
Temps de mesure de la hauteur 4 s / 10 μm scan
Plage de mesure de la hauteur < 90 μm < 20 mm < 90 μm <20 mm
Taille du champ de mesure < 2015 x 2015 μm *
Actionneur piézoélectrique Entraînement de la lentille d'objectif Entraînement de l'embouchure
Axe Z Manuel d'utilisation Électrique Manuel électrique
Axe XY Manuel Électrique Manuel Électrique
Logiciels Modules du logiciel Bridgelements



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